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全自动滤光片激光切割设备
产品介绍
本产品是利用红外波段或可见光的激光，对镀膜玻璃（滤光片），薄玻璃等透明材料进行全自动直线切割，适用于各种滤光片的切割。
产品特点
适用于940mm滤光片、白玻璃、蓝玻璃等；
适用于裸片和带有丝印的的滤光片及玻璃晶圆的直线切割；
一键操作，全自动上下料、切割；
视觉自动识别样品数量、位置，样品自动找正；
切深自动跟随系统，精度0.2um;
相关知识产权如下:202010825888.8，202010825882.0，201710025672.1，202110578725.9
适用于裸片和带有丝印的的滤光片及玻璃晶圆的直线切割；
一键操作，全自动上下料、切割；
视觉自动识别样品数量、位置，样品自动找正；
切深自动跟随系统，精度0.2um;
相关知识产权如下:202010825888.8，202010825882.0，201710025672.1，202110578725.9
系统参数
| 激光器 | 红外ps/绿光ps |
| 加工尺寸 | ≤200*200mm（可用于8寸玻璃晶圆） |
| 最大切割厚度 | ≤1.2mm |
| 切割轴速度 | 0-800mm/s |
| 切割崩边 | ＜20μm |
| 切割截面微裂纹 | ＜10μm |
| 光束数量 | ≤2 |
| 光束整形 | 动态整形 |
| 切割良率 | ＞98% |
切割效果：
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